一种空间环境用长效抗菌固体润滑膜层及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种空间环境用长效抗菌固体润滑膜层及其制备方法,该固体润滑膜层包含:基体、含Ag扩散层、涂层;该涂层包含:依次沉积在基体上的Cr籽晶层及含Ag非晶碳膜层;该含Ag扩散层位于邻近Cr籽晶层的基体中,由基体材料,以及,自Cr籽晶层扩散掺杂至基体材料中的Ag原子形成。本发明先在基体上沉积Cr籽晶层,再采用磁控共溅射石墨靶和Ag靶,通过调控溅射Ag电流大小,沉积梯度过渡Ag功能层;最后经热处理,促使涂层中Ag原子向基体扩散,实现含Ag抗菌功能层厚度的增加,获得的涂层在经过长时间摩擦实验后,抗菌等级不降低,达到长效抗菌的效果,尤其适用于空间站长效抗菌润滑部件,有很大的实际应用需求和良好的应用前景。
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