发明授权
- 专利标题: 一种曲面棱镜非接触检测方法及装置
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申请号: CN201811183471.5申请日: 2018-10-11
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公开(公告)号: CN109506899B公开(公告)日: 2020-04-03
- 发明人: 李立波 , 赵强 , 孙丽军 , 丑小全 , 武俊强 , 付西红
- 申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 申请人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
- 专利权人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
- 代理机构: 西安智邦专利商标代理有限公司
- 代理商 肖建华
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02
摘要:
本发明涉及光学检测技术领域,针对现有曲面棱镜的接触检测方法容易损伤棱镜光学表面、测试精度低;非接触检测方法测试光路复杂,无法实现定量检测等问题,提供一种曲面棱镜非接触检测方法及装置。其中,检测方法包括以下步骤:1)自准直显微镜与球面干涉仪对准;2)将待测曲面棱镜放置于自准直显微镜和球面干涉仪之间,使待测曲面棱镜的凸面位于球面干涉仪前;3)用球面干涉仪检测待测曲面棱镜凸面,调整待测曲面棱镜,实现待测曲面棱镜的凸面与球面干涉仪光束自准;然后,用自准直显微镜检测待测曲面棱镜凹面,移动自准直显微镜,实现自准直显微镜与待测曲面棱镜的凹面自准;则自准直显微镜的相对移动量即为待测曲面棱镜球心距离。
公开/授权文献
- CN109506899A 一种曲面棱镜非接触检测方法及装置 公开/授权日:2019-03-22