一种曲面棱镜非接触检测方法及装置
摘要:
本发明涉及光学检测技术领域,针对现有曲面棱镜的接触检测方法容易损伤棱镜光学表面、测试精度低;非接触检测方法测试光路复杂,无法实现定量检测等问题,提供一种曲面棱镜非接触检测方法及装置。其中,检测方法包括以下步骤:1)自准直显微镜与球面干涉仪对准;2)将待测曲面棱镜放置于自准直显微镜和球面干涉仪之间,使待测曲面棱镜的凸面位于球面干涉仪前;3)用球面干涉仪检测待测曲面棱镜凸面,调整待测曲面棱镜,实现待测曲面棱镜的凸面与球面干涉仪光束自准;然后,用自准直显微镜检测待测曲面棱镜凹面,移动自准直显微镜,实现自准直显微镜与待测曲面棱镜的凹面自准;则自准直显微镜的相对移动量即为待测曲面棱镜球心距离。
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