一种六氟化硫回收、低温注液灌装系统及其工作方法
Abstract:
本发明公开了一种六氟化硫回收、低温注液灌装系统及其工作方法,涉及气体回收及低温灌装领域。传统直接式低温注液灌装系统,存在向大气排放SF6气体的行为,造成了对环境和操作人员很大的伤害。本发明包括用于回收六氟化硫的回收装置和与回收装置相连的用于灌装的灌装装置,灌装装置包括灌装分配罐、真空泵、多个阀门以及连接管道;连接管道包括尾气管道、灌装管道、抽真空管道;灌装分配罐设有至少一根灌装管道,阀门包括设于尾气管道上的灌装管道尾气阀、设于灌装管道上的灌装阀、抽真空管道上的灌装管道真空阀。本技术方案能够有效地实现灌装的安全性,有效地实现尾气的回收,提升了环境保护能力,提高了对操作人员的安全性。
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