发明公开
CN109534686A 烘烤箱
无效 - 驳回
- 专利标题： 烘烤箱
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申请号： CN201811475329.8申请日： 2018-12-04
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公开(公告)号： CN109534686A公开(公告)日： 2019-03-29
- 发明人: 徐毕龙
- 申请人： 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- 专利权人： 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人： 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- 代理机构： 深圳翼盛智成知识产权事务所
- 代理商 黄威
- 主分类号： C03C17/00
- IPC分类号： C03C17/00 ; G02F1/1335 ; H05B3/02 ; H05B3/10
摘要：
一种烘烤箱，其包括烘烤箱腔体、加热器、压缩气体产生器和气体导引装置。所述烘烤箱腔体用于放置所述基板。所述加热器用于对所述烘烤箱腔体内的空气进行加热，以对放置于所述烘烤箱腔体其中的所述基板进行烘烤。所述压缩气体产生器用于产生压缩气体。所述气体导引装置连接于所述压缩气体产生器，用来于所述加热器停止加热时，加快所述压缩气体导引至所述烘烤箱腔体，加速所述烘烤箱腔体的气体循环，以快速降低所述烘烤箱腔体的温度。
