光波分复用器及制备方法
摘要:
本发明涉及光波分复用设备技术领域,尤其涉及光波分复用器及制备方法。结构紧凑,损耗低、偏正不敏感且隔离度大。包括光波导芯片和光纤阵列FA;光波导芯片包括衬底层,在衬底层上表面上设有下包层,在下包层上表面上设有芯层,将芯层设计成所需的波导光路;在下包层的上表面以及波导光路的上表面上设有上包层;从而得到晶圆,将晶元裁切后得到光波导芯片;光纤阵列FA包括夹具,在夹具上设有一根输入光纤、一根末端输出光纤和与转角输出端个数相等的转角输出光纤;在每根转角输出光纤的输入端端面上分别设有具有设定波长选择特性的干涉滤波薄膜。
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