一种提高多晶硅铸锭用坩埚内表面粗糙度的方法
摘要:
本发明提供了一种提高多晶硅铸锭用坩埚内表面粗糙度的方法,包括:配置料浆,将料浆置入喷涂装置中,其中,喷涂装置包括旋转喷头,喷头包括底座和设于底座上的至少两个气体分散装置,底座中心设有料浆孔,至少两个气体分散装置相交于料浆孔,气体分散装置包括第一侧壁和与第一侧壁相连接的第二侧壁,至少两个第一侧壁相交于料浆孔,第一侧壁上设有第一分散孔。开启喷涂装置,料浆从料浆孔中喷出,压缩空气从第一分散孔中喷出,使料浆分散成多个颗粒,多个颗粒在坩埚内表面形成浆点。通过旋转喷头将料浆喷出,并通过倾斜设置的第一分散孔中喷出的压缩空气将料浆分散成多个颗粒,并均匀地落在坩埚内表面以形成浆点,最终提高了坩埚内表面的粗糙度。
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