发明授权
- 专利标题： 一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱
-
申请号： CN201710891548.3申请日： 2017-09-27
-
公开(公告)号： CN109556356B公开(公告)日： 2020-12-11
- 发明人: 陈庆广 , 邓斌 , 王学仕 , 周水清 , 程文进 , 王志伟 , 李克 , 万喜新
- 申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 申请人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 代理机构： 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 周长清; 徐好
- 主分类号： F26B9/06
- IPC分类号： F26B9/06 ; F26B21/02 ; F26B25/00 ; F26B25/12
摘要：
本发明公开了一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱，包括箱体、以及设于箱体内的加热元件和工件台，所述箱体内设有内壳，所述内壳和所述箱体之间形成循环风道，所述工件台位于所述内壳内，所述内壳上设有循环进风口和循环出风口，所述循环进风口和所述循环出风口相对布置于所述工件台两侧，所述箱体内还设有用于驱动热风在循环风道内流动的循环风机。本发明具有结构简单、温度均匀性好等优点。
公开/授权文献
- CN109556356A 一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱 公开/授权日：2019-04-02
IPC分类:
