- 专利标题: 芯片生产用空压机的稳压方法、系统、装置及存储介质
- 专利标题(英): Pressure stabilization method, system and device of air compressor for chip production and storage medium
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申请号: CN201910073183.2申请日: 2019-01-25
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公开(公告)号: CN109578264A公开(公告)日: 2019-04-05
- 发明人: 崔超 , 林伟斌 , 匡晓云 , 杨祎巍 , 李舟 , 黄开天
- 申请人: 南方电网科学研究院有限责任公司 , 中国南方电网有限责任公司
- 申请人地址: 广东省广州市萝岗区科学城科翔路11号J1栋3、4、5楼及J3栋3楼
- 专利权人: 南方电网科学研究院有限责任公司,中国南方电网有限责任公司
- 当前专利权人: 南方电网科学研究院有限责任公司,中国南方电网有限责任公司
- 当前专利权人地址: 广东省广州市萝岗区科学城科翔路11号J1栋3、4、5楼及J3栋3楼
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 罗满
- 主分类号: F04B49/06
- IPC分类号: F04B49/06
摘要:
本申请公开了一种芯片生产用空压机的稳压方法,包括:获取空气压缩机的稳态工况数据;根据稳态工况数据设定模糊控制器的模糊规则;获取储气罐压力和排气压力;将储气罐压力和排气压力输入模糊控制器,得到模糊控制器进行模糊推理后输出的变频控制信号;利用模糊控制器输出的变频控制信号控制空气压缩机的电机转速,以稳定储气罐压力。由于本发明利用模糊控制器,根据储气罐压力和排气压力对空气压缩机的电机转速进行变频控制,保证电机转速和排气压力符合模糊控制器的模糊规则,使储气罐压力更稳定,避免出现上下波动较大的情况,满足芯片生产所需的高质量气动生产环境。相应的,本申请还公开了一种芯片生产用空压机的稳压系统、装置及存储介质。
公开/授权文献
- CN109578264B 芯片生产用空压机的稳压方法、系统、装置及存储介质 公开/授权日:2020-10-27