芯片生产用空压机的稳压方法、系统、装置及存储介质
摘要:
本申请公开了一种芯片生产用空压机的稳压方法,包括:获取空气压缩机的稳态工况数据;根据稳态工况数据设定模糊控制器的模糊规则;获取储气罐压力和排气压力;将储气罐压力和排气压力输入模糊控制器,得到模糊控制器进行模糊推理后输出的变频控制信号;利用模糊控制器输出的变频控制信号控制空气压缩机的电机转速,以稳定储气罐压力。由于本发明利用模糊控制器,根据储气罐压力和排气压力对空气压缩机的电机转速进行变频控制,保证电机转速和排气压力符合模糊控制器的模糊规则,使储气罐压力更稳定,避免出现上下波动较大的情况,满足芯片生产所需的高质量气动生产环境。相应的,本申请还公开了一种芯片生产用空压机的稳压系统、装置及存储介质。
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