本发明提供一种烘烤装置。所述烘烤装置包括箱体、设于所述箱体内且位于所述箱体底部的烘烤腔室、设于所述箱体内且位于所述箱体顶部的冷却腔室、设于所述烘烤腔室顶部的隔热腔门、设于所述烘烤腔室内的多个均匀分布的支撑顶针以及设于所述箱体内且位于所述烘烤腔室和冷却腔室之间的承载机构，所述烘烤腔室、承载机构及冷却腔室相互间隔；当基板在烘烤腔室内烘烤到达预设的烘烤时长时，所述隔热腔门打开，所述支撑顶针升起将基板顶出烘烤腔室，并转移至所述承载机构上由所述承载机构支撑，通过将基板移除烘烤腔室并转移到承载机构上，能够有效避免基板过烘，保证制程品质，提升产品良率。