一种提高激光图案化加工均匀性的方法
摘要:
本发明涉及一种提高激光图案化加工均匀性的方法,属于激光应用技术领域。本发明通过采用隔行拆分的方法,将待加工图案拆解成一系列的子图案,依据傅里叶迭代算法计算每张子图案的相位图,而后通过将相位图依次载入空间光调制器获得整形光场,利用整形光场在材料上加工出各个整形光场所对应的子图案,这些子图案最终组合成完整的加工图案。以此解决采用单张相位图进行激光空间光场整形加工时,由于光场的斑点噪声所带来的能量沉积不均的问题,从而达到提高激光图案化加工均匀性的目的。该方法原理简单,显著提高了加工结果的均匀性,具有很强的实用性。
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