本发明提供了一种硅纳米颗粒及其制备方法和用途，所述制备方法包括：(1)将铜氨络合物沉积在硅材料的表面，形成硅铜合金；(2)将得到的硅铜合金作为催化剂与硅混合处理，得到触体；(3)将得到的触体与卤代烷或醇类发生催化反应，得到硅纳米颗粒。本发明将硅铜合金催化剂用于硅与卤代烷或醇的原位催化反应，得到粒径、形貌可控的硅纳米颗粒，粒径分布均一；所述方法工艺简单，反应条件温和，制备过程清洁，制得硅纳米颗粒的同时能副产高价值的有机硅单体，有望实现硅纳米颗粒与有机硅单体生产双赢的目的，解决了现有技术难以实现硅纳米颗粒制备的关键问题，具有广阔的应用前景。