本发明公开了一种高纯硅烷CVD法连续制备纳米硅粉的工业化方法，采用热解反应器对硅烷与氢气的混合气进行充分的热分解反应，采用冷却捕集器和过滤器对热分解反应产生纳米硅粉进行充分的收集，同时通过冷却捕集器对系统热量进行充分的回收利用，通过冷却器和鼓风机帮助系统气体实现循环使用，从而实现纳米硅粉的连续制备；本发明工艺流程简单，易工业化，获得的纳米硅粉纯度高、粒径均匀且粒径小于100nm，产品质量好；本发明不需要催化剂，操作温和，硅烷分解配以氢气为稀释气体，避免了第三组分的引入，防止了其他杂质的介入，产品纯度高；本发明流程便于操作，参数便于调整，具有较强的技术竞争力。