一种制备高纯氯硅烷的方法
摘要:
本发明提供的制备高纯氯硅烷的方法,通过冶金级硅与氯化氢反应制备得到的氯硅烷,通过粗精馏将大部分硼磷杂质去除,再通过吸附将剩下的极少量的硼磷杂质去除,同时通过对吸附剂的种类搭配选用,降低吸附剂的更换频率,实现低成本的提纯氯硅烷,同时简化操作程序,从而适合工业化。该方法能高效除去氯硅烷中硼磷杂质,减少精馏程序,并延长吸附剂使用寿命长,降低成本,以适合工业化。
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