发明授权
- 专利标题: 多工位水冷靶及其制造方法
-
申请号: CN201910018177.7申请日: 2019-01-09
-
公开(公告)号: CN109609918B公开(公告)日: 2019-11-12
- 发明人: 不公告发明人
- 申请人: 伟业智芯(北京)科技有限公司
- 申请人地址: 北京市延庆区康庄镇八达岭开发区风谷四路八号院26号楼东
- 专利权人: 伟业智芯(北京)科技有限公司
- 当前专利权人: 伟业智芯(北京)科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市延庆区康庄镇八达岭开发区风谷四路八号院26号楼东
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C23C14/46
摘要:
本发明公开了一种多工位水冷靶及其制造方法,包括制造靶体、集水管、进水管、堵水件、回水管、回水弯管、靶套等。将各部件组装焊接形成多工位水冷靶。由于采用螺旋槽设计的直接水冷通道,并将靶体套入靶套内,安装在靶套表面的靶材由于离子束轰击产生的热量直接由冷却水带走,水准效果好。同时这种设计的水冷靶结构简单,可实现四面、五面、六面、八面等形式,可安装多种不同靶材。
公开/授权文献
- CN109609918A 多工位水冷靶及其制造方法 公开/授权日:2019-04-12
IPC分类: