一种微波场场强测量系统及测量方法
Abstract:
本发明适用于微波场场强测量技术领域,提供了一种微波场场强测量系统及测量方法,其中该微波场场强测量方法包括:将待测芯片放在物镜上;利用定性的方法测得σ‑及σ+圆极化微波场的分布或者利用定量的方法测得每一像素点的σ‑圆极化微波场的强度B‑及每一像素点的σ+圆极化微波场的强度B+。本发明中,采用宽场显微成像技术,能够进行快速的微波场测量及表征。利用本发明中的定性测量微波场场强可以达到dB量级、定量测量微波场场强可以达到nT量级,精度高。
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