发明授权
- 专利标题: 目标物暂存系统
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申请号: CN201811629812.7申请日: 2018-12-29
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公开(公告)号: CN109637955B公开(公告)日: 2021-03-12
- 发明人: 王晓侠 , 王秉国
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构: 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理商 李梅香; 张颖玲
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/673 ; H01L21/677
摘要:
本发明实施例公开了一种目标物暂存系统。所述目标物暂存系统包括:暂存装置,包括:至少一个容置腔,用于暂存盛有目标物的传送箱;第一进气孔,设置在容置腔腔体上,用于安装进气管,以向传送箱内输送目标物的保护气体;第一出气孔,设置在容置腔腔体上,用于安装出气管,以供传送箱向外排出保护气体;传送箱,放置于容置腔内,用于存放目标物,传送箱的内腔与第一进气孔、第一出气孔连通;供气箱,用于提供保护气体;气流驱动装置,以供传送箱向外排出保护气体;进气管,一端与供气箱连通,另一端与第一进气孔连通以将保护气体输送至传送箱内;出气管,一端与第一出气孔连通,另一端与气流驱动装置连通以供传送箱输出保护气体。
公开/授权文献
- CN109637955A 目标物暂存系统 公开/授权日:2019-04-16
IPC分类: