一种采用超声驻波操纵Micro-LED巨量转移的方法
摘要:
本发明公开了一种采用超声驻波操纵Micro‑LED巨量转移的方法,移动转移基板,使需要转移的Micro‑LED晶片对准激光发射器;接着激光发射器发出激光光束,使Micro‑LED晶片脱离转移基板的弹性层并落到超声操控范围内,声压节点使Micro‑LED晶片悬浮;辐射端面和反射端面在导轨上移动,使Micro‑LED晶片之间的间距也随之改变;超声换能器停止发出超声波,Micro‑LED在重力作用下落到目标衬底的对应位置上;完成贴装后,进入下一贴装过程。本发明具有转移效率高,不受Micro‑LED在目标衬底上的贴装间距的限制和Micro‑LED晶片封装的良率高的优点。
公开/授权文献
0/0