- 专利标题: 一种采用超声驻波操纵Micro-LED巨量转移的方法
-
申请号: CN201811564866.X申请日: 2018-12-20
-
公开(公告)号: CN109638122B公开(公告)日: 2019-08-27
- 发明人: 陈云 , 施达创 , 陈新 , 刘强 , 高健 , 汪正平
- 申请人: 广东工业大学
- 申请人地址: 广东省广州市大学城外环西路100号
- 专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市大学城外环西路100号
- 代理机构: 佛山市禾才知识产权代理有限公司
- 代理商 刘羽波; 资凯亮
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L21/67
摘要:
本发明公开了一种采用超声驻波操纵Micro‑LED巨量转移的方法,移动转移基板,使需要转移的Micro‑LED晶片对准激光发射器;接着激光发射器发出激光光束,使Micro‑LED晶片脱离转移基板的弹性层并落到超声操控范围内,声压节点使Micro‑LED晶片悬浮;辐射端面和反射端面在导轨上移动,使Micro‑LED晶片之间的间距也随之改变;超声换能器停止发出超声波,Micro‑LED在重力作用下落到目标衬底的对应位置上;完成贴装后,进入下一贴装过程。本发明具有转移效率高,不受Micro‑LED在目标衬底上的贴装间距的限制和Micro‑LED晶片封装的良率高的优点。
公开/授权文献
- CN109638122A 一种采用超声驻波操纵Micro-LED巨量转移的方法 公开/授权日:2019-04-16
IPC分类: