一种多层材料盲孔的激光加工方法
摘要:
本发明提供一种多层材料盲孔的激光加工方法,包括:S110通过运动单元控制第一能量激光束,采用单线画圆的方式扫描上铜层形成环形凹槽,使环形凹槽中间形成有柱状体,其中,光束扫描半径为待加工盲孔半径,所述柱状体包含全部上铜层和部分PI层;S120采用冷气和热气作用在所述柱状体上,以降低柱状体中上铜层与PI层之间的粘合力,使所述柱状体中的上铜层与PI层脱离;S130采用第二能量激光束通过螺旋扫描或者同心圆方式扫描所述PI层,完全清除待加工盲孔内的PI层以露出下铜层,完成盲孔的加工;其中,所述第二能量激光束的能量小于所述第一能量激光束的能量。上述多层材料盲孔的激光加工方法能提高加工质量和加工效率。
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