发明授权
- 专利标题： 用于生产薄无机膜的方法
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申请号： CN201780052824.5申请日： 2017-08-23
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公开(公告)号： CN109641927B公开(公告)日： 2023-01-10
- 发明人: T·阿德尔曼 , F·阿贝尔斯 , C·林伯格 , H·威尔默 , J·格肯斯 , S·施奈特
- 申请人： 巴斯夫欧洲公司
- 申请人地址： 德国莱茵河畔路德维希港
- 专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人地址： 德国莱茵河畔路德维希港
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 张双双; 刘金辉
- 优先权： 16186628.0 20160831 EP
- 国际申请： PCT/EP2017/071236 2017.08.23
- 国际公布： WO2018/041695 EN 2018.03.08
- 进入国家日期： 2019-02-27
- 主分类号： C07F15/00
- IPC分类号： C07F15/00 ; C23C16/455
摘要：
本发明属于在基材上生产薄无机膜的方法，特别是原子层沉积方法的领域。本发明涉及一种生产无机膜的方法，该方法包括使通式(I)化合物沉积至固体基材上，其中M为Mn、Ni或Co，X为与M配位的配体，n为0、1、2、3或4，R1为烷基、链烯基、芳基、卤素或甲硅烷基，R2为烷基、链烯基、芳基或甲硅烷基，p和q为1或2，其中p+q＝3，和m为1、2或3。
公开/授权文献
- CN109641927A 用于生产薄无机膜的方法 公开/授权日：2019-04-16
