优选金属钨板做电解槽阳极，优用原料氟化锂铍共晶体做电解质，熔点范围适合电解且无氟化氢成分，能从源头上切断四氟化碳及氟化氢等有害成分对成品六氟化钨的污染。电解槽内生成的六氟化钨气体以及夹带的熔融盐扬尘和少量未与金属钨反应的氟气沿电解槽气体出口管进入气体纯化罐，用扬尘过滤板及扬尘吸附剂去除六氟化钨夹带的电解质微尘；用钨微球反应层将未反应的少量氟气全部转化成六氟化钨，用微孔过滤器将夹带的金属钨微粒全部滤掉，最终产出高纯六氟化钨气体。本发明实现了电解法直接合成高纯六氟化钨，具有工艺路线简洁、成品杂质少、收率高，综合生产成本极具竞争力等优点。