一种金属氧化物与碳纳米管复合的微柱储能电极制备方法
摘要:
本发明公开了属于微储能器件领域的一种金属氧化物与碳纳米管复合的微柱结构储能电极制备方法。该微柱储能电极是在硅基底上依次附着Si/SiO2,微草及微柱阵列结构,然后在三维微草及微柱阵列结构表面沉积氧化物与碳纳米管复合的活性薄膜和微柱结构储能电极的集流体,组成金属氧化物与碳纳米管复合的微柱储能电极。以氧化钌、氧化锰等为金属氧化物,首先加工微柱及“微草”结构;以“微草”结构为沉积模板,通过共沉积工艺,在三维电极表面形成“麻花”波纹状的三维空间网络,碳纳米管和金属氧化物相互缠绕,比表面积大,制备的金属氧化物与碳纳米管复合的微柱储能电极储能性好,比容量高达272mF/cm2,具有广阔的应用潜力。
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