发明公开
- 专利标题: 一种金属氧化物与碳纳米管复合的微柱储能电极制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of metal oxide and carbon nanotube compounded micro-column energy storage electrode
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申请号: CN201811547971.2申请日: 2018-12-18
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公开(公告)号: CN109659159A公开(公告)日: 2019-04-19
- 发明人: 尤政 , 王晓峰
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华大学精密仪器系9003楼
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华大学精密仪器系9003楼
- 代理机构: 北京国林贸知识产权代理有限公司
- 代理商 李富华
- 主分类号: H01G11/30
- IPC分类号: H01G11/30 ; H01G11/36 ; H01G11/46 ; H01G11/26 ; H01G11/86
摘要:
本发明公开了属于微储能器件领域的一种金属氧化物与碳纳米管复合的微柱结构储能电极制备方法。该微柱储能电极是在硅基底上依次附着Si/SiO2,微草及微柱阵列结构,然后在三维微草及微柱阵列结构表面沉积氧化物与碳纳米管复合的活性薄膜和微柱结构储能电极的集流体,组成金属氧化物与碳纳米管复合的微柱储能电极。以氧化钌、氧化锰等为金属氧化物,首先加工微柱及“微草”结构;以“微草”结构为沉积模板,通过共沉积工艺,在三维电极表面形成“麻花”波纹状的三维空间网络,碳纳米管和金属氧化物相互缠绕,比表面积大,制备的金属氧化物与碳纳米管复合的微柱储能电极储能性好,比容量高达272mF/cm2,具有广阔的应用潜力。