发明授权
- 专利标题： 有源层厚度的监控方法
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申请号： CN201811594175.4申请日： 2018-12-25
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公开(公告)号： CN109671640B公开(公告)日： 2020-09-08
- 发明人: 姚龙杰
- 申请人： 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人： 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人： 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构： 深圳市德力知识产权代理事务所
- 代理商 林才桂
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66
摘要：
本发明提供一种有源层厚度的监控方法。该有源层厚度的监控方法通过监控机台监控GOA区中的薄膜晶体管的有源层的厚度，当有源层的厚度小于一预设的阈值时，该监控机台报警，当有源层的厚度大于或等于一预设的阈值时，该监控机台不报警，从而及时调整制作工艺，避免造成大量显示面板出现异常。
公开/授权文献
- CN109671640A 有源层厚度的监控方法 公开/授权日：2019-04-23
IPC分类:
