Invention Publication
- Patent Title: 一种大行程高速高精度宏微复合运动平台
- Patent Title (English): Large-stroke high-speed and high-precision macro micro composite motion platform
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Application No.: CN201910105229.4Application Date: 2019-02-01
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Publication No.: CN109676403APublication Date: 2019-04-26
- Inventor: 张揽宇 , 高健 , 陈文华 , 张金迪 , 钟永彬 , 王晓亮 , 梁俊朗 , 钟耿君
- Applicant: 广东工业大学
- Applicant Address: 广东省广州市越秀区东风东路729号大院
- Assignee: 广东工业大学
- Current Assignee: 广东工业大学
- Current Assignee Address: 广东省广州市越秀区东风东路729号大院
- Agency: 北京集佳知识产权代理有限公司
- Agent 罗满
- Main IPC: B23Q1/56
- IPC: B23Q1/56 ; B23Q5/28 ; B23Q15/013 ; B23Q17/24

Abstract:
本发明提供一种大行程高速高精度宏微复合运动平台,包括底座、X向驱动装置、Y向驱动装置、X向移动组件、Y向移动组件、Z向伸缩装置和微运动补偿单元、宏微位移检测装置以及工控机。底座、X向驱动装置、Y向驱动装置、X向移动组件、Y向移动组件和Z向伸缩装置构成宏运动机构,在工控机的控制下,可以实现终端平台沿X、Y、Z向的大行程宏运动,其运动平稳、效率高;微运动补偿单元构成微运动机构,在工控机的控制下,可以实现终端平台沿三轴方向小范围内的运动微调,达到三维协同XYZ精密运动误差补偿、三轴振动协同快速抑制的技术效果。上述大行程高速高精度宏微复合运动平台,可以实现微电子产品的大行程、高速、高精度、平稳运动。
Public/Granted literature
- CN109676403B 一种大行程高速高精度宏微复合运动平台 Public/Granted day:2023-11-07
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