本发明涉及研磨设备技术领域，具体是一种带清洗功能的半导体晶圆研磨装置，包括支撑杆、顶板、清洗装置和固定装置，顶板底部两侧设置有支撑杆，支撑杆内侧设置有连接杆，连接杆内侧设置有固定座，固定座顶部设置有固定装置，固定装置上侧设置有电机，电机下侧输出端与研磨盘连接，研磨盘外侧设置有清洗装置，本发明，通过设置固定装置，有效降低了晶圆在研磨时发生侧滑的可能，通过设置粗磨齿和细磨齿，利于提高研磨品质，通过设置清洗装置，可以保持研磨盘与第一固定块之间的清洁，通过经常的清洗，使得研磨盘保持干净，同时，在清洗过程中，清洗水还可以作为研磨硅片的冷却水，达到有助于硅片研磨的作用。