检测方法、装置和存储介质
摘要:
本发明提供一种检测方法、装置和存储介质,该方法包括:接收检测指令,所述检测指令用于指示对有缺陷的显示屏进行缺陷原因检测;获取电子显微镜拍摄的显示屏的图像;根据所述图像和所述显示屏的标准图像,获取所述显示屏的缺陷原因。本发明通过电子显微镜拍摄的显示屏的图像,获取显示屏中的缺陷原因,进而使得制程过程中能够在线获取显示屏的缺陷原因,用时短,检测效率高。
公开/授权文献
0/0