发明公开
CN109683446A 一种曝光装置
审中-实审
- 专利标题: 一种曝光装置
- 专利标题(英): Exposure device
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申请号: CN201910092052.9申请日: 2019-01-30
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公开(公告)号: CN109683446A公开(公告)日: 2019-04-26
- 发明人: 梁添贵 , 陈建明 , 王丹丹 , 倪沁心
- 申请人: 广东华恒智能科技有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市南城街道白马振兴工业区先锋2路2号彼联科技园B栋0202
- 专利权人: 广东华恒智能科技有限公司
- 当前专利权人: 广东华恒智能科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市南城街道白马振兴工业区先锋2路2号彼联科技园B栋0202
- 代理机构: 东莞市华南专利商标事务所有限公司
- 代理商 刘克宽
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明涉及曝光技术领域,尤其是指一种曝光装置,其包括机架,所述机架上设置有曝光室,所述曝光室包括工作台,所述工作台的上方和下方均设置有曝光机构;所述工作台的一侧设置有用于对物料进行粗定位的粗定位机构,工作台上还设置有用于对物料进行精定位的精定位机构;所述工作台的中部设置有显露口,所述工作台上设置有第一调整平台以及第一调整机构;所述第一调整平台上设置有第二调整平台以及第二调整机构。本发明结构简单、设计合理,提高物料曝光的精确度,提高品质的通过率,而且工作效率高,第一调整平台和第二调整平台可以实现单独调节和联动调节,方便对曝光机构与物料进行精确菲林对位,提高精确度,使用灵活、方便。
IPC分类: