本发明公开了一种低温球磨纳米硅粉，包括硅源、轻质金属粉、促进剂，硅源为白炭黑、石英粉、高岭土中的任一种，轻质金属粉为镁粉或铝粉，硅源和轻质金属粉的质量与促进剂的质量比为1:2.5～3.0，硅源中的二氧化硅与所述的铝粉的摩尔比为1:1.45～1.6，硅源中的二氧化硅与所述的镁粉的摩尔比为1:2.1～2.4，反应促进剂为三元氯化物盐；低温球磨纳米硅粉的制备方法，包括以下步骤：称取硅源、铝粉或镁粉、反应促进剂，置于研钵中研磨并混合均匀，得到混合粉末；将混合粉末转移到磨罐中，球磨得到纳米硅粉预制品；对纳米硅粉预制品进行处理得到纳米硅粉；纳米硅粉为棕黄色粉末，产率为90.1％～94.7％，纯立方晶系硅，粒径为30～100nm。