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显微镜
Abstract:
一种显微镜,具有:具有主物镜的观察光路、具有第一探测光路和第一照明光路的波前测量装置、第一和第二光学器件组、安排在第一与第二光学器件组之间的分束器和具有第二照明光路的照明装置,其中第一探测光路包含主物镜、第一光学器件组、第一与第二光学器件组之间的作为反射元件的分束器和第二光学器件组,并且主物镜与第一和第二光学器件组共同构成第一探测光路的无焦成像光学系统,其中第一照明光路包含该分束器、第一光学器件组、主物镜,而不包含第二光学器件组,并且用于波前测量装置的照明射线经由所述分束器指向第一光学器件组,并且其中第二照明光路包含第一与第二光学器件组之间的作为透射元件的分束器、第一光学器件组和主物镜。
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