本发明公开一种集成电路版图线网上开路关键面积的提取方法，主要思路为：首先，获取版图图像中每个线网；其次，提取每个线网的横竖边缘；然后，以缺陷矩阵的长度为间隔在每个线网横边缘上作缺陷矩阵的复制，以缺陷矩阵的宽度为间隔在每个线网竖边缘上作缺陷矩阵的复制；最后，计算每个线网内像素点值大于2的像素点总数就是每个线网的开路关键面积值。本发明根据缺陷矩阵的长度和宽度求每个线网的开路关键面积，可以降低集成电路版图线网上开路关键面积提取的时间复杂度，实现开路关键面积的快速提取。