一种吸气泵模件，其包括多个设有轴孔的吸气盘，和一个从该孔中贯穿延伸的、对该吸气盘进行支撑和加热的加热元件。该吸气盘最好是实心、多孔、烧结吸气盘，提供有与加热元件相接合的钛毂。提供有一绝热护板，保护吸气盘免受腔室内热源和散热的影响，且有助于吸气盘的快速恢复。在本发明的特定实施例中，该热护板是固定的，而在另一些实施例中，该热护板是活动的。在一个实施例中，提供有一个聚焦护板，将热能自外部加热元件反射给吸气材料，且提供高的泵抽速度。本发明的一个实施例还提供了一种旋转吸气元件以提高吸气材料的利用率。