本发明公开了一种可克服氧阻聚的单组分聚硅氧烷光引发剂，具体结构为：，其中R为光引发剂。该引发剂是在含氢聚氧硅烷侧链上引入光引发剂并保留一定数量的硅氢键，利用硅氢键作为供氢体起到克服氧阻聚的作用。同时公开了该可克服氧阻聚的单组分聚硅氧烷光引发剂的制备方法：在氩气氛围下将含端烯的光引发剂与含氢聚硅氧烷混合后溶于溶剂中，加入适量硅氢化催化剂，在一定温度下反应，反应完成后减压抽去溶剂即得。该光引发剂与光固化体系具有良好的相容性，在光固化的过程中无需额外添加助引发剂，引发效率高，可在有氧条件下完成聚合，环保节能，符合绿色化学的要求，在光固化领域具有广泛的应用前景。