发明授权
- 专利标题: 防撞装置及曝光机台
-
申请号: CN201711046800.7申请日: 2017-10-31
-
公开(公告)号: CN109725495B公开(公告)日: 2020-10-16
- 发明人: 丛国栋 , 张志钢 , 李志龙 , 管博然
- 申请人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张东路1525号
- 专利权人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张东路1525号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明提供一种防撞装置及曝光机台,所述防撞装置包括力传递机构和缓冲机构,所述力传递机构包括一环形结构,所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体;所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置,多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接。所述曝光机台包括曝光台以及所述防撞装置。本发明提供的防撞装置能够承受所述物体由于惯性而产生的碰撞,避免了所述物体与其他部件发生直接碰撞,保护了所述物体和所述其他部件;同时,此种结构的防撞装置占用空间小以及可承受来自所述物体任意方向上的碰撞。
公开/授权文献
- CN109725495A 防撞装置及曝光机台 公开/授权日:2019-05-07
IPC分类: