防撞装置及曝光机台
摘要:
本发明提供一种防撞装置及曝光机台,所述防撞装置包括力传递机构和缓冲机构,所述力传递机构包括一环形结构,所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体;所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置,多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接。所述曝光机台包括曝光台以及所述防撞装置。本发明提供的防撞装置能够承受所述物体由于惯性而产生的碰撞,避免了所述物体与其他部件发生直接碰撞,保护了所述物体和所述其他部件;同时,此种结构的防撞装置占用空间小以及可承受来自所述物体任意方向上的碰撞。
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