一种ITO表面特性均一化装置
摘要:
本发明涉及一种ITO表面特性均一化装置,包括真空箱体、送料机构、移动机构与等离子体表面处理机,所述真空箱体内从下往上依次安装有送料机构与移动机构,送料机构上方布置有等离子体表面处理机,等离子体表面处理机安装在移动机构上,且真空箱体左侧开设有进料口,真空箱体右侧开设有出料口,送料机构包括封闭筒、旋转辊、旋转电机、伸缩板、连接架、滑动架、固定架与伸缩架,移动机构包括直线导轨、移动架、横向移动支链与纵向移动支链。本发明可以解决目前ITO表面特性均一化过程中存在的不能连续对ITO进行表面处理、工作效率低、使用等离子体处理时气密性无法得到保证与表面处理均匀性差等难题。
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