- 专利标题: 一种用于生产太阳能电池的CVD设备供气装置及其供气方法
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申请号: CN201910232560.2申请日: 2019-03-26
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公开(公告)号: CN109778145B公开(公告)日: 2020-09-15
- 发明人: 朱晓蕊 , 曹卫华 , 谢鹏辉 , 王耀华 , 王书会 , 张卫东 , 刘玉振
- 申请人: 信阳师范学院
- 申请人地址: 河南省信阳市浉河区南湖路237号
- 专利权人: 信阳师范学院
- 当前专利权人: 信阳师范学院
- 当前专利权人地址: 河南省信阳市浉河区南湖路237号
- 代理机构: 北京睿博行远知识产权代理有限公司
- 代理商 封明艳
- 主分类号: C23C16/455
- IPC分类号: C23C16/455
摘要:
本发明公开了一种用于生产太阳能电池的CVD设备供气装置,包括供气主管,供气主管上连通有若干个供气支管,供气主管的末端与反应腔室连接,所述反应腔室的顶部设置有布气盘,布气盘上均匀设置有若干个第一供气孔,第一供气孔的顶部与供气主管相连,第一供气孔的底部设置有环形挡板,环形挡板的顶部向第一供气孔的中心方向倾斜,第一供气孔底部的边缘设置有若干个通孔,通孔位于环形挡板的外侧,环形挡板的顶部与第一供气孔的顶部留有空隙,环形挡板上均匀设置有若干个通槽,反应腔室的底部设置有若干个第二供气孔,第二供气孔环形排布,第二供气孔位于布气盘的外侧。本发明能够改进现有技术的不足,提高了CVD设备的供气均匀度。
公开/授权文献
- CN109778145A 一种用于生产太阳能电池的CVD设备供气装置及其供气方法 公开/授权日:2019-05-21