一种用于生产太阳能电池的CVD设备供气装置及其供气方法
摘要:
本发明公开了一种用于生产太阳能电池的CVD设备供气装置,包括供气主管,供气主管上连通有若干个供气支管,供气主管的末端与反应腔室连接,所述反应腔室的顶部设置有布气盘,布气盘上均匀设置有若干个第一供气孔,第一供气孔的顶部与供气主管相连,第一供气孔的底部设置有环形挡板,环形挡板的顶部向第一供气孔的中心方向倾斜,第一供气孔底部的边缘设置有若干个通孔,通孔位于环形挡板的外侧,环形挡板的顶部与第一供气孔的顶部留有空隙,环形挡板上均匀设置有若干个通槽,反应腔室的底部设置有若干个第二供气孔,第二供气孔环形排布,第二供气孔位于布气盘的外侧。本发明能够改进现有技术的不足,提高了CVD设备的供气均匀度。
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