发明授权
- 专利标题： 温度反应器及其制作方法
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申请号： CN201910086032.0申请日： 2019-01-29
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公开(公告)号： CN109781499B公开(公告)日： 2021-07-23
- 发明人: 蒋文静 , 刘战峰 , 欧文
- 申请人： 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人： 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人： 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构： 北京兰亭信通知识产权代理有限公司
- 代理商 赵永刚
- 主分类号： G01N1/44
- IPC分类号： G01N1/44 ; B01J19/00
摘要：
本发明提供一种温度反应器及其制作方法。通过在温度反应器制作工艺过程中形成密封腔体和观察窗口并在形成密封腔体的密封层中设置测温电阻，本发明能够克服传统温度反应器使用时存在的上下窗口难以对准导致的测试样品容易污染、温度反应器密封性差、测试观察过程中加温不准确以及传统的温度反应器在TEM/SEM类测试设备内部不易观察和探测等问题。
公开/授权文献
- CN109781499A 温度反应器及其制作方法 公开/授权日：2019-05-21
