感光性树脂组合物、由其形成的硬化膜、及具有所述硬化膜的电子装置
Abstract:
本发明提供一种感光性树脂组合物、使所述感光性树脂组合物硬化而制造的硬化膜、及包含所述硬化膜的电子装置,所述感光性树脂组合物包含(A)聚硅氧烷聚合物、及(B)溶媒,其中所述(A)聚硅氧烷聚合物是使下述化学式1所表示的至少一种硅烷化合物进行水解及缩合反应而形成,在所述感光性树脂组合物的预烘烤后,膜不溶于2.38重量%四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液中,且在5重量%TMAH水溶液中的溶解速度为 /秒以下:[化学式1](R1)aSiX14-a所述化学式1中,R1、X1、及a与说明书中的定义相同。
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