发明授权
- 专利标题: 可碱溶负性光敏聚酰亚胺树脂组合物
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申请号: CN201910053285.8申请日: 2019-01-21
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公开(公告)号: CN109814336B公开(公告)日: 2022-05-17
- 发明人: 黄珍荣 , 王胜林
- 申请人: 深圳市道尔顿电子材料有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区光明街道招商局光明科技园B3栋4C单元
- 专利权人: 深圳市道尔顿电子材料有限公司
- 当前专利权人: 深圳市道尔顿电子材料有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区光明街道招商局光明科技园B3栋4C单元
- 主分类号: G03F7/038
- IPC分类号: G03F7/038
摘要:
本发明适用于材料技术领域,提供了一种可碱溶负性光敏聚酰亚胺树脂组合物,该组合物包括如下按质量份数计的组分:30份~60份可碱溶负性光敏聚酰亚胺共聚物,1.5份~15份丙烯酸酯系单体,1份~4份光引发剂,90份~220份有机溶剂以及0.05份~0.3份表面活性剂;所述可碱溶负性光敏聚酰亚胺共聚物的结构式如式1所示,其中:x=5~80,R为带羧基及不饱和双键的链段,其中A1为带乙硫基的含氟芳香族二胺单元,A2为二苯酮二酐单元,A3为主链含查尔酮基团的二酐单元。本发明具有高光敏性和分辨率,同时经过曝光后,非曝光区可以用无机碱溶液显影,可广泛应用于航空航天等领域。
公开/授权文献
- CN109814336A 可碱溶负性光敏聚酰亚胺树脂组合物 公开/授权日:2019-05-28
IPC分类: