X射线探测器、X射线探测器光电转换层的制造方法及医用设备
摘要:
本发明提供了一种X射线探测器、X射线探测器光电转换层的制造方法及一种医用设备,所述X射线探测器包括:闪烁体,位于X射线探测器的入光侧并将X射线转换成可见光;感光层,所述闪烁体的出光侧,并对可见光进行光电转换,感光层包括透明导电薄膜及光电转换层,透明导电薄膜位于闪烁体与光电转换层之间;光电转换层为均匀的多孔结构,孔内填充有硅颗粒;信号读取装置,信号读取装置与感光层电连接;遮光件,位于闪烁体与信号读取装置之间且与信号读取装置有源层的位置对应,以遮挡有源层的入射光。本发明具有灵敏的光电转换性能,且光电转换效率很高。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件(其零部件入H01L23/00,H01L29/00至H01L51/00;由多个单个固态器件组成的组装件入H01L25/00)
H01L27/14 .包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的(只与一个或多个电光源在结构上相结合的辐射敏感元件入H01L31/14;光导与光电元件的耦合入G02B6/42)
H01L27/142 ..能量转换器件(包括与光伏电池集成或者直接相关的旁路二极管的单个光伏电池的光伏模块或者阵列只入H01L31/0443;由沉积在同一衬底上的多个薄膜太阳能电池组成的光伏模块入H01L31/046)
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