本发明涉及一种高熵合金CoCrFeMnNi及其雾化制粉法制取工艺，制取工艺的步骤为：(1)将等物质的量的Fe、Co、Ni、Cr和Mn元素单质小块用中频感应炉熔炼得到CoCrFeMnNi合金棒料；(2)将所述CoCrFeMnNi合金棒料用电极感应熔化气体雾化法制得CoCrFeMnNi高熵合金粉末；最终制得的高熵合金CoCrFeMnNi无显微偏析；平均粒度为36μm；粒度范围为15‑53μm；整体形貌圆润；呈现单一FCC相，球形度无明显粘连粉末。本发明的工艺简单，产品性能优良，解决了现有技术制备的高熵合金CoCrFeMnNi混杂不匀、有显微偏析、颗粒较大、粒度偏差较大、球形度有部分粘连粉末等问题。