Invention Grant

  • Patent Title: 一种用于光刻机的镭射架
  • Application No.: CN201910304662.0
    Application Date: 2019-04-16
  • Publication No.: CN109884863B
    Publication Date: 2020-09-15
  • Inventor: 罗涛
  • Applicant: 罗涛
  • Applicant Address: 陕西省商洛市洛南县城关镇中街西段37号
  • Assignee: 罗涛
  • Current Assignee: 罗涛
  • Current Assignee Address: 陕西省商洛市洛南县城关镇中街西段37号
  • Agency: 北京轻创知识产权代理有限公司
  • Agent 谈杰
  • Main IPC: G03F7/20
  • IPC: G03F7/20
一种用于光刻机的镭射架
Abstract:
本发明公开了光刻机镭射架技术领域的一种用于光刻机的镭射架,包括插杆、螺纹杆、套管和两组固定板,通过内螺纹管、塑料五星把手螺栓和正六边形板限制套管上下移动和固定,利用插杆和套管带动固定板固定在楼层之间,采用镭射管卡在两组软橡胶板和弧形软橡胶块之间,从而抑制住镭射管在水平方向的震动,确保光刻机本身震动在传递给镭射管时,其镭射管在水平方向的震动幅度在设备技术要求范围允许内;从而确保激光束能顺利通过镭射管传输给光刻机,保障了光刻机能正常运转,该装置操作简单,上下伸缩,可以运用在不同楼层之间,具有广泛的市场运用前景。
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