摘要：
本发明涉及一种基于等离子体表面加工工艺的耐高温电容阵列传感器，其特征在于主要包括四个部分：刚玉内管，其内部为被测场域，外壁或内壁表面固定耐高温电容阵列；电容阵列，利用等离子体喷涂技术将钴基合金粉末喷涂于刚玉内管的表面制成；信号屏蔽线，与电极数量相同，内层信号线的一端连接电容阵列，另一端连接测量电路，外层屏蔽线接地；电容阵列外部屏蔽，用于隔绝被测场域外围的环境变化干扰。
公开/授权文献
- CN109900753A 一种基于等离子体表面加工工艺的耐高温电容阵列传感器 公开/授权日：2019-06-18