Invention Grant
- Patent Title: 一种铝模芯表面制备致密铜防护层的方法
-
Application No.: CN201910286260.2Application Date: 2019-04-10
-
Publication No.: CN109913800BPublication Date: 2020-11-17
- Inventor: 邢丕峰 , 赵利平 , 郑凤成 , 柯博 , 易泰民 , 杨蒙生 , 高莎莎 , 李宁 , 王丽雄
- Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- Applicant Address: 四川省绵阳市绵山路64号
- Assignee: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- Current Assignee: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- Current Assignee Address: 四川省绵阳市绵山路64号
- Agency: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- Agent 岳泉清
- Main IPC: C23C14/02
- IPC: C23C14/02 ; C23C14/35 ; C23C14/58 ; C23C14/16

Abstract:
一种铝模芯表面制备致密铜防护层的方法,它属于惯性约束聚变靶制备领域,具体涉及一种高致密性铜防护层制备方法。本发明的目的是要解决现有铝模芯表面制备铜防护层存在不致密,且铜防护层与铝模芯结合力差的问题。一种铝模芯表面制备致密铜防护层的方法:一、铜靶预处理;二、铝模芯装配;三、真空加热除气处理及离子刻蚀清洗;四、磁控溅射沉积首镀铜层;五、原位热处理;六、刻蚀、沉积镀铜层;七、重复步骤六操作2次,得到铝铜复合芯轴。有益效果:表面粗糙度RMS<60nm,残余应力降低至58MPa±20MPa,在3mol/L的NaOH溶液中的耐腐蚀时间超过24h。本发明主要用于制备铝铜复合芯轴。
Public/Granted literature
- CN109913800A 一种铝模芯表面制备致密铜防护层的方法 Public/Granted day:2019-06-21
Information query
IPC分类: