基体表面等离子体辅助激光织构化PVD涂层的制备方法
摘要:
本发明公开了本发明的一种基体表面等离子体辅助激光织构化PVD涂层的制备方法,其中先采用飞秒激光在基体表面加工微织构,然后利用等离子体刻蚀基体表面,最后在织构化基体表面上沉积PVD涂层,获得具有PVD涂层的基体。该方法不仅能够提高基体表面比表面积,增加涂层与基体之间的机械嵌接作用,而且通过等离子体辅助激光加工方法进行涂层基体表面规则微织构的高质量可控制备,还可以改善涂层膜基间物理结合和化学键合界面,进一步提高涂层膜基结合强度,提高规定形状区域内涂层与基体之间的结合力。该方法尤其适用于高速钢或硬质合金钢基体的PVD涂层刀具的制备,能够有效地提升刀具的综合性能。
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