一种两自由度超精密微细物体操作器及其激励方法
摘要:
本发明公开了一种两自由度超精密微细物体操作器及其激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了目前的微细物体操作器结构复杂、行程不足和自由度单一的技术问题。所述微细物体操作器由末端卡爪、驱动足、压电陶瓷管以及基座组成,其中压电陶瓷管为主要驱动元件,用以产生弯曲变形和伸缩变形,进而通过驱动足驱动末端卡爪的运动。本发明中的操作器可以通过多种激励方法产生末端卡爪沿自身轴线和绕自身轴线的超精密直线和旋转运动。基于不同的激励方法和工作场合,压电陶瓷管和驱动足的数量可以做出变化。本发明中的微细物体操作器结构紧凑、布置灵活,激励方法灵活多样、可靠性高,便于应用在需要进行微细物体操作的技术领域。
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