本发明题为“用于微型颗粒物传感器模块的微型气流发生器”。本发明公开了整体涉及微型气流发生器的实施方案，所述微型气流发生器不使用风扇或加热器来产生气流(例如，在紧凑型光学PM传感器中)。相反，本发明所公开的实施方案通常可以使用诱导的膜/隔膜元件的运动来产生气流(其中所述膜的运动继而引起空气中的运动)。例如，膜或隔膜元件可以由(电子)致动器元件驱动，诸如电磁致动器或压电盘弯曲器(或以引起气流的方式振动/移动膜元件的一些其他装置)。在一些实施方案中，电磁致动器本身可包括可用作所述膜/隔膜元件和所述电子致动器元件的膜(使得电磁致动器可涵盖膜元件和电子致动器元件，诸如磁体和相应的线圈)和/或压电盘弯曲器。