• 专利标题: 真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统
  • 专利标题(英): High-power microscopic observation system capable of carrying out multi-degree-of-freedom regulation in vacuum environment
  • 申请号: CN201910424555.1
    申请日: 2019-05-21
  • 公开(公告)号: CN109991229A
    公开(公告)日: 2019-07-09
  • 发明人: 王梦迪刘聪张兴义周军
  • 申请人: 兰州大学
  • 申请人地址: 甘肃省兰州市城关区天水南路222号
  • 专利权人: 兰州大学
  • 当前专利权人: 兰州大学
  • 当前专利权人地址: 甘肃省兰州市城关区天水南路222号
  • 代理机构: 北京中誉威圣知识产权代理有限公司
  • 代理商 席勇
  • 主分类号: G01N21/84
  • IPC分类号: G01N21/84 G01N21/01
真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统
摘要:
本发明公开了一种真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统,包括焊接波纹管、滑动轴承、套筒、两侧螺栓,采用焊接波纹管作为伸缩套管,焊接波纹管上下端分别设有上外螺纹法兰和下法兰,焊接波纹管下法兰固定于真空腔体上;含有内螺纹的套筒套住焊接波纹管的上外螺纹法兰,并置于滑动轴承上;旋转两侧螺栓可以使套筒水平移动。通过本发明,可实现在真空环境下对高倍显微镜物镜进行上下、水平方向的移动,在保持真空度的前提下调节物镜焦距、移动视野位置,并且得到高物理分辨率、高成像质量的观测结果。这将为实现真空环境下高放大倍数的光学显微测量奠定基础。
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