发明公开
- 专利标题: 真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统
- 专利标题(英): High-power microscopic observation system capable of carrying out multi-degree-of-freedom regulation in vacuum environment
-
申请号: CN201910424555.1申请日: 2019-05-21
-
公开(公告)号: CN109991229A公开(公告)日: 2019-07-09
- 发明人: 王梦迪 , 刘聪 , 张兴义 , 周军
- 申请人: 兰州大学
- 申请人地址: 甘肃省兰州市城关区天水南路222号
- 专利权人: 兰州大学
- 当前专利权人: 兰州大学
- 当前专利权人地址: 甘肃省兰州市城关区天水南路222号
- 代理机构: 北京中誉威圣知识产权代理有限公司
- 代理商 席勇
- 主分类号: G01N21/84
- IPC分类号: G01N21/84 ; G01N21/01
摘要:
本发明公开了一种真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统,包括焊接波纹管、滑动轴承、套筒、两侧螺栓,采用焊接波纹管作为伸缩套管,焊接波纹管上下端分别设有上外螺纹法兰和下法兰,焊接波纹管下法兰固定于真空腔体上;含有内螺纹的套筒套住焊接波纹管的上外螺纹法兰,并置于滑动轴承上;旋转两侧螺栓可以使套筒水平移动。通过本发明,可实现在真空环境下对高倍显微镜物镜进行上下、水平方向的移动,在保持真空度的前提下调节物镜焦距、移动视野位置,并且得到高物理分辨率、高成像质量的观测结果。这将为实现真空环境下高放大倍数的光学显微测量奠定基础。