气化式加湿单元、气化式加湿单元的控制方法以及薄片制造装置
摘要:
本发明提供一种不使风量发生变化而可仅使加湿量变化的气化式加湿单元。气化式加湿单元具备:气化部,其使水分蒸发;第一鼓风机,其对通过所述气化部而被加湿的加湿空气进行吸气;输送管,其与所述第一鼓风机连接,并对来自所述第一鼓风机的排气进行输送;第二鼓风机,其与所述输送管连接,并将从所述第一鼓风机侧排气的所述加湿空气向外部排气;开口部,其被设置于所述输送管的中途;湿度检测部,其被设置于所述第二鼓风机的排气侧;控制部,其对从所述第一鼓风机和所述第二鼓风机排气的风量进行控制,所述控制部将从所述第二鼓风机排气的风量控制为所期望的值,并根据由所述湿度检测部检测出的湿度,而对从所述第一鼓风机排气的风量进行控制。
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