本发明属于微细加工技术领域，一种超疏水半球阵列的复制加工工艺，预处理：对半球微坑阵列的金属模具进行机械抛光，清洗，吹干；微纳结构构建：对模具表面进行微纳米结构构建，超声清洗，吹干；复制加工：利用环氧树脂E51或PDMS模块胶对金属模具进行浇注，并经真空环境下脱泡、加热固化处理，或使用PP、PC、PE或PTFE板材于模具上热压处理，冷却至室温后，徒手脱模得到聚合物半球阵列；超疏水处理：将得到的聚合物半球阵列置于质量分数1％的氟硅烷乙醇溶液中修饰，取出烘干，即得到超疏水半球阵列。本发明方法具有成本低、易操作、可选材料种类多、可徒手脱模、模具可重复使用等优点，可有效丰富构建微小阵列结构的技术手段。