- 专利标题： 基板蒸镀对位系统以及监控像素位置测量的方法和装置
-
申请号： CN201910446885.0申请日： 2019-05-27
-
公开(公告)号： CN110029322B公开(公告)日： 2021-05-04
- 发明人: 谢飞 , 吴建鹏 , 安成国 , 宋裕斌
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 代理机构： 北京风雅颂专利代理有限公司
- 代理商 李弘
- 主分类号： C23C14/54
- IPC分类号： C23C14/54 ; C23C14/04 ; C23C14/24
摘要：
本发明公开了一种基板蒸镀对位系统以及监控像素位置测量的方法和装置，所述方法，包括：对基板上蒸镀得到的监控像素进行边缘阴影的测量以及位置测量；根据测量的边缘阴影，确定所述监控像素的边缘爬坡距离；根据所述边缘爬坡距离对测量得到的位置数据进行修正。应用本发明能够提升监控像素位置的测量精度，提高确定OLED基板的蒸镀对位补偿量的准确性，从而提高OLED基板的蒸镀良率。
公开/授权文献
- CN110029322A 基板蒸镀对位系统以及监控像素位置测量的方法和装置 公开/授权日：2019-07-19